扫描电子显微镜(SEM)是什么意思?
扫描电子显微镜(SEM)是一种电子显微镜,其通过用聚焦的电子束扫描来产生样品的图像。
SEM提供高分辨率表面数据和更高的材料对比度。它们广泛用于电子显微镜科学和应用领域:
- 纳米技术
- 材料分析
- 半导体故障分析
- 生命科学
- 质量保证
环境SEM(ESEM)对非金属和生物材料特别有用,因为不需要碳或金的涂层。ESEM使得可以在未涂覆的非导电样品上完成X射线微基分析。
扫描电子显微镜(SEM)是一种电子显微镜,其通过用聚焦的电子束扫描来产生样品的图像。
SEM提供高分辨率表面数据和更高的材料对比度。它们广泛用于电子显微镜科学和应用领域:
环境SEM(ESEM)对非金属和生物材料特别有用,因为不需要碳或金的涂层。ESEM使得可以在未涂覆的非导电样品上完成X射线微基分析。
扫描电子显微镜使用聚焦光束的高能量电子束,以在固体样本的表面上产生多样性的信号。来自电子样品交互的信号公开了有关样品的信息,包括:
通常以光栅扫描图案扫描电子束,并且光束的位置与检测到的信号连接以产生图像。SEM可以达到优于1纳米的分辨率。样品可以在高真空,低真空和(在环境SEM中)在潮湿条件下感知。
SEM与传统显微镜相比的优势包括:
所有这些优点使扫描电子显微镜成为现代研究中最有用的仪器之一。