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扫描电子显微镜(SEM)

最后更新:2018年12月23日

扫描电子显微镜(SEM)是什么意思?

扫描电子显微镜(SEM)是一种电子显微镜,其通过用聚焦的电子束扫描来产生样品的图像。

SEM提供高分辨率表面数据和更高的材料对比度。它们广泛用于电子显微镜科学和应用领域:

  • 纳米技术
  • 材料分析
  • 半导体故障分析
  • 生命科学
  • 质量保证

环境SEM(ESEM)对非金属和生物材料特别有用,因为不需要碳或金的涂层。ESEM使得可以在未涂覆的非导电样品上完成X射线微基分析。

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CORROSISPIA解释扫描电子显微镜(SEM)

扫描电子显微镜使用聚焦光束的高能量电子束,以在固体样本的表面上产生多样性的信号。来自电子样品交互的信号公开了有关样品的信息,包括:

  • 外部形态(纹理)
  • 化学成分
  • 晶体结构
  • 材料取向

通常以光栅扫描图案扫描电子束,并且光束的位置与检测到的信号连接以产生图像。SEM可以达到优于1纳米的分辨率。样品可以在高真空,低真空和(在环境SEM中)在潮湿条件下感知。

SEM与传统显微镜相比的优势包括:

  • 较大的景深 - 这允许更多的样本一次重点。
  • 较高的分辨率 - 标本可以在更高的水平下放大。
  • 微析分 - 先进的显微镜可以告诉研究人员有关其构成的信息。

所有这些优点使扫描电子显微镜成为现代研究中最有用的仪器之一。

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