扩散阻挡层是什么意思?
扩散阻挡层是位于两种金属之间的中间层。它是一个屏障,保护金属不被腐蚀。
有一些金属组合用于形成特定应用的扩散阻挡层。在过去,许多不同的物种已经被探索作为屏障层,如钛/氮化钛和钽/氮化钽,或这些的修饰,如钨/氮化钛和氮化钛硅。钽屏障层的问题在于,它们可能会被少量的碳和氧污染,抑制铜的润湿和粘附。其他屏障层包括:
- 钴基扩散阻挡层薄膜
- 非晶碳化硅薄膜
- 氧氮化硅薄膜
扩散阻挡层是位于两种金属之间的中间层。它是一个屏障,保护金属不被腐蚀。
有一些金属组合用于形成特定应用的扩散阻挡层。在过去,许多不同的物种已经被探索作为屏障层,如钛/氮化钛和钽/氮化钽,或这些的修饰,如钨/氮化钛和氮化钛硅。钽屏障层的问题在于,它们可能会被少量的碳和氧污染,抑制铜的润湿和粘附。其他屏障层包括:
扩散势垒优选为单相合金或金属间化合物。扩散阻挡层的特征是:
良好的扩散势垒需要相对于邻近物质的惰性。附着力好的材料不一定是好的扩散屏障,反之亦然。因此,在某些情况下,必须使用两个或更多独立的层来提供基片之间的适当界面。
扩散阻挡层材料的选择取决于:
非金属屏障比金属屏障有显著的优势,因为它们的膨胀系数更接近。也可使用导电陶瓷,如: