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汽相淀积(VD)

最后更新:2018年1月22日

什么是气相沉积(VD) ?

气相沉积(VD)是将处于气相状态的材料通过冷凝、化学反应或转换等过程在基材表面形成固体层的一种涂层过程。这种薄膜可用于多种原因,包括防止腐蚀。

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腐蚀百科解释气相沉积(VD)

气相沉积法在基材表面涂上一层薄涂层。这种涂层工艺用于提高基材的耐蚀性,以及以下性能:


  • 机械
  • 光学
  • 穿

有两类气相沉积过程:

  • 化学气相沉积(CVD):化学气体或蒸气在固体表面发生反应,在固体表面产生薄膜形式的副产物。其他的副产品是挥发的,并离开表面。
  • 物理气相沉积(PVD):包括几种沉积技术,其中材料从源释放并转移到基片。
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